臺灣學術機構典藏系統 (Taiwan Academic Institutional Repository, TAIR)

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機構	日期	題名	作者
元智大學	2006-05	DESIGN, X-RAY MICROMACHINING AND MEASUREMENT OF A NIR CONCAVE GRATING MICRO DEMULTIPLEXER WITH SU-8 RESIST	柯正浩; B. Y. SHEW
元智大學	2004-12	X-ray micromachining SU-8 resist for a terahertz photonic filter	柯正浩; B.Y. Shew
元智大學	2004-12	X光光刻技術製作凹面型微光柵分光儀之研究	柯正浩; B.Y. Shew
元智大學	2004-10	X光光刻技術製作凹面型微光柵分光儀之研究	柯正浩; B.Y. Shew
元智大學	2004-07	Design, Simulation and Measurement of Concave Micro Grating Spectrometer Chip Fabricated by X-ray Lithography Technique	柯正浩; B. Y. Shew; C. K. Lo; C. C. Lui; M. C. Liang; L. G. Sheu; C. M. Chen; S. F. Cheng
元智大學	2004-02	Design and Performance Analysis of a X-ray LIGA Based Spectrometer Chip with Diffraction-limited Performance in the IR range	柯正浩; C. C. Lui; C. K. Lo; M. C. Liang; B. Y. Shew
國立中山大學	2000-11	LIGA 微加速器	B.Y. Shew;T.Y. Huang;C.H. Lin;Yao Cheng
國立中山大學	2000-01-18	Ultra-deep LIGA process and its applications	Y. Cheng;B.Y. Shew;C.H. Lin
國立中山大學	2000	Concepts for creating ultra deep trenches using deep x-ray lithography	Y. Cheng; B.Y. Shew; C.H. Lin; M.K. Chyu
國立中山大學	1999-12-03	Ultra-deep LIGA process	Y. Cheng;B.Y. Shew;C.H. Lin;M.K. Chyu

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