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國立中山大學 2005 Bonding properties and their relation to residual stress and refractive index of amorphous Ta(N,O) films investigated by x-ray absorption spectroscopy J.C. Jan;P.D. Babu;H.M. Tsai;C.W. Pao;J.W. Chiou;S.C. Ray;K.P. Krishna Kumar;W.F. Pong;M.H. Tsai;C.A. Jong;T.S. Chin

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