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教育部委託研究計畫 計畫執行:國立臺灣大學圖書館
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| 國立交通大學 |
2014-12-12T01:24:55Z |
以平行化二維流體模型模擬CF4低溫電感耦合式電漿源蝕刻二氧化矽(SiO2)之研究
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邱沅明; Chiu, Yuan-Ming; 吳宗信; Wu, Jong-Shinn |
| 國立交通大學 |
2014-12-08T15:38:09Z |
Development of a parallel implicit solver of fluid modeling equations for gas discharges
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Hung, Chieh-Tsan; Chiu, Yuan-Ming; Hwang, Feng-Nan; Wu, Jong-Shinn |
| 國立交通大學 |
2014-12-08T15:35:53Z |
Parallel 2D Axisymmetric Fluid Modeling of CF4 Discharge in an Inductively Coupled Plasma Source During SiO2 Etching
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Chiu, Yuan-Ming; Chiang, Chung-Hua; Hung, Chieh-Tsan; Hu, Meng-Hua; Wu, Jong-Shinn; Hwang, Feng-Nan |
| 國立交通大學 |
2014-12-08T15:28:32Z |
Fluid Modeling of a Nitrogen Atmospheric-Pressure Planar Dielectric Barrier Discharge Driven by a Realistic Distorted Sinusoidal Alternating Current Power Source
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Cheng, Kai-Wen; Hung, Chieh-Tsan; Lin, Kun-Mo; Chiu, Yuan-Ming; Wu, Jong-Shinn; Yu, Jen-Perng |
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