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机构 日期 题名 作者
國立中山大學 2001 Etching of platinum thin films in an inductively coupled plasma D.S. Wuu; H.H. Kuo; F.C. Liao; R.H. Horng; M.K. Lee
國立中山大學 2000 Etching Characteristics and Mechanism of Ba0.7Sr0.3TiO3 Thin Films in an Inductively Coupled Plasma D.S. Wuu; F.C. Liao; N.H. Kuo; R.H. Horng; M.K. Lee

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