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| 國立臺灣大學 |
2006-01 |
A Single-run Single-mask ICP-RIE Process for Fabricating Suspended High-Aspect-Ratio MEMS Structures
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Yang, Y.-J.; Fan, K.-C.; Kuo, W.-C. |
| 國立臺灣大學 |
2006-01 |
Single-Run Single-Mask Inductively-Coupled-Plasma Reactive-Ion-Etching Process for Fabricating Suspended High-Aspect-Ratio Microstructures
|
Yang, Y.J.; Kuo, W.C.; Fan, K.C. |
| 國立臺灣大學 |
2006-01 |
A Genetic Approach on the PID Control of VCM for Auto-focusing Laser Probe
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Torng, J.S.; Fan, K.C.; Lu, T. F. |
| 國立臺灣大學 |
2006-01 |
Study of a Miniature Linear Bearing Stage System
|
Fan, K.C.; Yen, R.H.; Ho, C.C |
| 國立臺灣大學 |
2006 |
Development of a low-cost micro-CMM for 3Dmicro/nano measurements
|
Fan, K.C.; Fei, Y.T.; Yu, X.F.; Chen, Y.J.; Wang, W.L.; Chen, F.; Liu, Y.S. |
| 國立臺灣大學 |
2006 |
Development of a low-cost micro-CMM for 3D micro/nano measurements
|
Fan, K. C.; Fei, Y. T.; Yu, X. F.; Chen, Y. J.; Wang, W. L.; Chen, F.; Liu, Y. S. |
| 國立臺灣大學 |
2006 |
Study of a Noncontact Type Micro-CMM with Arch-bridge and Nanopositioning Stage
|
Fan, K. C.; Fei, Y. T.; Yu, X. F.; Wang, W. L.; Chen Y. J. |
| 國立臺灣大學 |
2006 |
A high precision focus probe for the quality assessment of grating pitch
|
Chen Yejin; Fan, K. C.; Liu, Yusheng; Cheng, Fang |
| 國立臺灣大學 |
2006 |
Characterization of pressure sensitive rubber for artificial skin of robotics
|
Cheng, C.-H.; Chang, F.-Y.; Tsao, L.-C.; Shih, W.-P.; Chang, S.-H.; Fan, K.-C. |
| 國立臺灣大學 |
2006 |
Integrated temperature and tactile sensing arrays on a flexible substrate
|
Cheng, M.-Y.; Chang, W.-Y.; Tsao, L.-C.; Yang, S.-A.; Yang, Y.-J.; Shih, W.-P.; Chang, F.-Y.; Fan, K.-C. |
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