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机构	日期	题名	作者
國立交通大學	2014-12-12T02:14:49Z	以電漿輔助化學氣相沈積低介電常數之含氟氧化物薄膜的化學機械研磨技術與材料特性研究	謝元智; Hsieh, Yuan-Tsu; 馮明憲, 戴寶通; Feng Ming-Shiann, Dai Bau-Tong

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