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機構	日期	題名	作者
元智大學	2012-04-26	BCl3 ICP Dry Etching on AlSb/InAs HEMTs for Low-Voltage Operations	C.I.Kuo; Heng-Tung Hsu; C.Y. Hsu; C.H.Yu; H.C.Ho; G. W. Huang, , and ; E.Y. Chang; J.I. Chyi
元智大學	2012-04-26	BCl3 ICP Dry Etching on AlSb/InAs HEMTs for Low-Voltage Operations	C.I.Kuo; Heng-Tung Hsu; C.Y. Hsu; C.H.Yu; H.C.Ho; G. W. Huang, , and ; E.Y. Chang; J.I. Chyi

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