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國立交通大學 2014-12-08T15:27:54Z SIMULATION AND FABRICATION OF A NEW PHASE-SHIFTING MASK FOR 0.35 MU-M CONTACT HOLE PATTERN TRANSFER - HALF-TONE-RIM LOONG, WA; SHY, SL; GUO, GC; CHOU, YL
國立交通大學 2014-12-08T15:04:14Z CROSS SHAPED PATTERN ON CHROME MASK FOR 0.5 MU-M CONTACT HOLE FABRICATION LOONG, WA; SHY, SL; GUO, GC; YANG, MT; SU, SY

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