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國立臺灣大學 1991 Nanometer Scale Focused Ion Beam Vacuum Lithography Using an Ultrathin Native Oxide Resist 王玉麟; Harriott, L. R.; Temkin, H.; Chu, C. H.; Hseih, Y. F.; Hamm, R. A.; Panish, M. B.; Wade, H. H.; Wang, Yuh-Lin; Harriott, L. R.; Temkin, H.; Chu, C. H.; Hseih, Y. F.; Hamm, R. A.; Panish, M. B.; Wade, H. H.

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