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機構	日期	題名	作者
國立交通大學	2014-12-08T15:27:08Z	Evaluation of impurity migration and microwave digestion methods for lithographic materials	Ko, FH; Hsiao, LT; Chou, CT; Wang, MY; Wang, TK; Sun, YC; Cheng, BJ; Yeng, S; Dai, BT
國立交通大學	2014-12-08T15:26:56Z	Film characterization and evaluation of process performance for the modified electron beam resist	Ko, FH; Ting, JH; Chou, CT; Hsiao, LT; Huang, TY; Dai, BT

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