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國立臺灣海洋大學	2009-11-15	Self- limiting growth of ZnO films on (0001) sapphire substrates by atomic layer deposition at low temperatures using diethyl-zinc and nitrous oxide	Yen-Ting Lin;Ping-Han Chung;Hung-Wei Lai;Hsin-Lun Su;Dong-Yuan Lyu;Kuo-Yi Yen;Tai-Yuan Lin;Chung-Yuan Kung;Jyh-Rong Gong

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