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國立成功大學 2012-06 Nanocrystalline Si-Based Resistive Humidity Sensors Prepared via HWCVD at Various Filament Temperatures Hsueh, T. J.; Chen, Y. H.; Weng, W. Y.; Tsai, T. Y.; Hsueh, H. T.; Hus, C. L.; Dai, B. T.; Shieh, J. M.

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