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机构	日期	题名	作者
國立交通大學	2014-12-08T15:46:05Z	Deposition of silicon carbon nitride films by ion beam sputtering	Wu, JJ; Wu, CT; Liao, YC; Lu, TR; Chen, LC; Chen, KH; Hwa, LG; Kuo, CT; Ling, KJ
國立臺灣大學	2002-09	Field emission of nanostructured amorphous SiCN films deposited by reactive magnetron sputtering of SiC in CH4/N-2 atmosphere	Lin, HY; Chen, YC; Lin, CY; Tong, YP; Hwa, LG; Chen, KH; Chen, LC

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