臺灣學術機構典藏系統 (Taiwan Academic Institutional Repository, TAIR)

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機構	日期	題名	作者
國立中山大學	2002-01	Surface Acoustic Wave Bandpass Filters Properties of AlN Thin Films Sputtered on LiNbO3 Substrates	K.S. Kao;C.C. Cheng;Y.C. Chen;C.H. Chen
國立中山大學	2002-01	Temperature Coefficients of SAW Velocity for AlN Thin Film Sputtered on ST-X Quartz	K.S. Kao;C.C. Cheng;Y.C. Chen;Y.H. Lee
國立中山大學	2002	Synthesis and Surface Acoustic Wave Properties of AlN Films Deposited on LiNbO3 Substrates	K.S. Kao; C.C. Cheng; Y.C. Chen
國立中山大學	2001	Synthesis of C-Axis Oriented Aluminum Nitride Films by Reactive RF Magnetron Sputtering for Surface Acoustic Wave	K.S. Kao; C.C. Cheng; Y.C. Chen

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