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機構 日期 題名 作者
國立交通大學 2014-12-08T15:39:57Z Improvement in leakage current and breakdown field of Cu-comb capacitor using a silicon oxycarbide dielectric barrier Chiang, CC; Ko, IH; Chen, MC; Wu, ZC; Lu, YC; Jang, SM; Liang, MS
國立交通大學 2014-12-08T15:39:57Z Physical and barrier properties of PECVD amorphous silicon-oxycarbide from trimethylsilane and CO2 Chiang, CC; Ko, IH; Chen, MC; Wu, ZC; Lu, YC; Jang, SM; Liang, MS
國立交通大學 2014-12-08T15:39:42Z Leakage and breakdown mechanisms of Cu comb capacitors with bilayer-structured alpha-SiCN/alpha-SiC Cu-cap barriers Chiang, CC; Ko, IH; Chen, MC; Wu, ZC; Lu, YC; Jang, SM; Liang, MS
國立交通大學 2014-12-08T15:26:16Z Leakage and breakdown mechanisms in cu damascene with a bilayer-structured a-SiCN/a-SiC dielectric barrier Chiang, CC; Ko, IH; Chen, MC; Wu, ZC; Lu, YC; Jang, SM; Liang, MS

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