臺灣學術機構典藏系統 (Taiwan Academic Institutional Repository, TAIR)

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機構	日期	題名	作者
臺大學術典藏	2018-09-10T09:50:34Z	Method and Apparatus for Designing Patterning System Based on Patterning Fidelity	Kuen-Yu Tsai;Sheng-Yung Chen;Hoi-Tou Ng;Shiau-Yi Ma; Kuen-Yu Tsai; Sheng-Yung Chen; Hoi-Tou Ng; Shiau-Yi Ma; KUEN-YU TSAI
臺大學術典藏	2018-09-10T09:50:34Z	Electron Beam Exposure Apparatus, Electron Beam Generation Apparatus and Exposure Method (電子束曝光裝置、電子束產生裝置及曝光方法)	Kuen-Yu Tsai; KUEN-YU TSAI; Yu-Hsuan Kuo;Ming-Shing Su;Yi-Chang Lu;Kuen-Yu Tsai; Yu-Hsuan Kuo; Ming-Shing Su; Yi-Chang Lu
臺大學術典藏	2018-09-10T09:50:34Z	Electron Beam Exposure Apparatus, Electron Beam Generation Apparatus and Exposure Method (電子束曝光裝置、電子束產生裝置及曝光方法)	Kuen-Yu Tsai; KUEN-YU TSAI; Yu-Hsuan Kuo;Ming-Shing Su;Yi-Chang Lu;Kuen-Yu Tsai; Yu-Hsuan Kuo; Ming-Shing Su; Yi-Chang Lu
臺大學術典藏	2018-09-10T09:50:34Z	Electron Beam Exposure Apparatus, Electron Beam Generation Apparatus and Exposure Method (電子束曝光裝置、電子束產生裝置及曝光方法)	Kuen-Yu Tsai; KUEN-YU TSAI; Yu-Hsuan Kuo;Ming-Shing Su;Yi-Chang Lu;Kuen-Yu Tsai; Yu-Hsuan Kuo; Ming-Shing Su; Yi-Chang Lu
臺大學術典藏	2018-09-10T09:50:34Z	Method for Compensating Proximity Effects of Particle Beam Lithography Processes	Kuen-Yu Tsai;Chun-Hung Liu;Chooi-Wan Ng;Pei-Lin Tien; Kuen-Yu Tsai; Chun-Hung Liu; Chooi-Wan Ng; Pei-Lin Tien; KUEN-YU TSAI
臺大學術典藏	2018-09-10T09:50:34Z	Method for Compensating Proximity Effects of Particle Beam Lithography Processes	Kuen-Yu Tsai;Chun-Hung Liu;Chooi-Wan Ng;Pei-Lin Tien; Kuen-Yu Tsai; Chun-Hung Liu; Chooi-Wan Ng; Pei-Lin Tien; KUEN-YU TSAI
臺大學術典藏	2018-09-10T09:50:34Z	Method for Compensating Proximity Effects of Particle Beam Lithography Processes	Kuen-Yu Tsai;Chun-Hung Liu;Chooi-Wan Ng;Pei-Lin Tien; Kuen-Yu Tsai; Chun-Hung Liu; Chooi-Wan Ng; Pei-Lin Tien; KUEN-YU TSAI
臺大學術典藏	2018-09-10T09:50:34Z	Method for Compensating Effect of Patterning Process and Apparatus Thereof	Yi-Sheng Su; KUEN-YU TSAI; Kuen-Yu Tsai; Chooi-Wan Ng; Kuen-Yu Tsai;Chooi-Wan Ng;Yi-Sheng Su
臺大學術典藏	2018-09-10T09:50:34Z	Method for Compensating Effect of Patterning Process and Apparatus Thereof	Yi-Sheng Su; KUEN-YU TSAI; Kuen-Yu Tsai; Chooi-Wan Ng; Kuen-Yu Tsai;Chooi-Wan Ng;Yi-Sheng Su
臺大學術典藏	2018-09-10T09:50:34Z	Method for Compensating Effect of Patterning Process and Apparatus Thereof	Yi-Sheng Su; KUEN-YU TSAI; Kuen-Yu Tsai; Chooi-Wan Ng; Kuen-Yu Tsai;Chooi-Wan Ng;Yi-Sheng Su

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