臺灣學術機構典藏系統 (Taiwan Academic Institutional Repository, TAIR)

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機構	日期	題名	作者
臺大學術典藏	2015-07	Determining Proximity Effect Parameters for Non-Rectangular Semiconductor Structures	KUEN-YU TSAI; Yi-Chang Lu; Meng-Fu You; Kuen-Yu Tsai; Kuen-Yu Tsai;Meng-Fu You;Yi-Chang Lu
臺大學術典藏	2015-07	Determining Proximity Effect Parameters for Non-Rectangular Semiconductor Structures	KUEN-YU TSAI; Yi-Chang Lu; Meng-Fu You; Kuen-Yu Tsai; Kuen-Yu Tsai;Meng-Fu You;Yi-Chang Lu
臺大學術典藏	2015-07	Determining Proximity Effect Parameters for Non-Rectangular Semiconductor Structures	KUEN-YU TSAI; Yi-Chang Lu; Meng-Fu You; Kuen-Yu Tsai; Kuen-Yu Tsai;Meng-Fu You;Yi-Chang Lu
臺大學術典藏	2014-05	Method for Compensating Proximity Effect of Particle Beam Lithography Process (粒子束微影程序鄰近效應之補償方法)	KUEN-YU TSAI; Pei-Lin Tien; Chooi-Wan Ng; Chun-Hung Liu; Kuen-Yu Tsai;Chun-Hung Liu;Chooi-Wan Ng;Pei-Lin Tien; Kuen-Yu Tsai
臺大學術典藏	2014-05	Method for Compensating Proximity Effect of Particle Beam Lithography Process (粒子束微影程序鄰近效應之補償方法)	KUEN-YU TSAI; Pei-Lin Tien; Chooi-Wan Ng; Chun-Hung Liu; Kuen-Yu Tsai;Chun-Hung Liu;Chooi-Wan Ng;Pei-Lin Tien; Kuen-Yu Tsai
臺大學術典藏	2014-05	Method for Compensating Proximity Effect of Particle Beam Lithography Process (粒子束微影程序鄰近效應之補償方法)	KUEN-YU TSAI; Pei-Lin Tien; Chooi-Wan Ng; Chun-Hung Liu; Kuen-Yu Tsai;Chun-Hung Liu;Chooi-Wan Ng;Pei-Lin Tien; Kuen-Yu Tsai
臺大學術典藏	2012-02	Electron-beam proximity effect model calibration for fabricating scatterometry calibration samples	Chun-Hung Liu; Chih-Yu Chen; Hoi-Tou Ng; Kuen-Yu Tsai; Fu-Ming Wang; Chieh-Hsiung Kuan; Yen-Min Lee; Hsin-Hung Cheng; Jia-Han Li; Alek C. Chen; Yu-Tian Shen; KUEN-YU TSAI; CHIEH-HSIUNG KUAN et al.
臺大學術典藏	2012-02	Electron-beam proximity effect model calibration for fabricating scatterometry calibration samples	Chun-Hung Liu; Chih-Yu Chen; Hoi-Tou Ng; Kuen-Yu Tsai; Fu-Ming Wang; Chieh-Hsiung Kuan; Yen-Min Lee; Hsin-Hung Cheng; Jia-Han Li; Alek C. Chen; Yu-Tian Shen; KUEN-YU TSAI; CHIEH-HSIUNG KUAN et al.

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