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機構 日期 題名 作者
臺大學術典藏 2006 Single-Run Single-Mask Inductively-Coupled-Plasma Reactive-Ion-Etching Process for Fabricating Suspended High-Aspect-Ratio Microstructures YangYJ; YangYaoJoe; Fan, K.C.; Fan, Kuang-Chao; Kuo, W.C.; Yang, Y.J.; Kuo, Wen-Cheng; Yang, Yao-Joe; Yang, Yao-Joe; Yang, Y.J.; Kuo, Wen-Cheng; Kuo, W.C.; Fan, Kuang-Chao; Fan, K.C.
國立高雄第一科技大學 2005.11 A novel fabrication method for suspended high-aspect-ratio microstructures* Yang, Yao-Joe;Kuo, Wen-Cheng; 郭文正
國立臺灣大學 2005-06 A novel fabrication method for suspended high-aspect-ratio MEMS structures Kuo, Wen-Cheng; Yang, Yao-Joe

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