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國立交通大學 2015-07-21T08:30:59Z Characterization of Al2O3/ZnO Grown on Si Substrate by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition Chung, Chen-Chen; Tran, Binh-Tinh; Lin, Kung-Liang; Wang, Ching-Chiun; Chen, Chien-Chih; Huang, Chih-Yung; Lee, Sheng-Lang; Chang, Edward-Yi

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