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國立交通大學	2014-12-12T02:14:12Z	電漿輔助化學沈積法的氮化矽膜之表面型態對陽極氧化鋁/氮化矽雙層介電層非晶矽薄膜電晶體電性之影響	李秋德; Li, Qiu De; 馮明憲; Feng, Ming Xian

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