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國立交通大學	2014-12-12T02:14:49Z	電漿輔助化學氣相沉積之介電質在化學機械研磨中特性與製程整合之研究	林啟發; Lin, Chi-Fa; 馮明憲; Ming-Shiann Feng
國立成功大學	2000-03-15	Formation and characteristics of silicon nanocrystals in plasma-enhanced chemical-vapor-deposited silicon-rich oxide	Lin, Chi-Fa; Tseng, Wei-Tsu; Feng, Ming Shiann
國立成功大學	1999-05	Process optimization and integration for silicon oxide intermetal dielectric planarized by chemical mechanical polish	Lin, Chi-Fa; Tseng, Wei-Tsu; Feng, Ming-Shiann

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