臺灣學術機構典藏系統 (Taiwan Academic Institutional Repository, TAIR)

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Institution	Date	Title	Author
國立交通大學	2014-12-13T10:34:46Z	電漿蝕刻製程的先進製程控制	林家瑞; LIN CHIA-SHUI
國立交通大學	2014-12-13T10:33:41Z	嵌入式銅導線之無研磨粒子平坦化技術的先進製程控制	林家瑞; LIN CHIA-SHUI
國立交通大學	2014-12-13T10:29:28Z	化學機械研磨機台先進製程控制器設計與實作	林家瑞; LIN CHIA-SHUI
國立交通大學	2014-12-12T01:52:20Z	應用順滑模態理論操作化學機械研磨製程	紀建宇; Chi, Chien-Yu; 林家瑞; Lin, Chia-Shui
國立交通大學	2014-12-12T01:15:45Z	變壓藕合電漿多晶矽乾式蝕刻機蝕刻深度的批次控制	顏嘉良; Yen, Chia-Liang; 陳宗麟; 林家瑞; Chen, Tsung-Lin; Lin, Chia-Shui

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