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機構	日期	題名	作者
國立臺灣大學	1999-10	Modeling and optimization of wafer-level spatial uniformity with the use of rational subgrouping	Guo, Ruey-Shan; Chen, Argon; Liu, Cheewee; Lin, A.; Lan, M.
臺大學術典藏	1999-10	Modeling and optimization of wafer-level spatial uniformity with the use of rational subgrouping	Guo, Ruey-Shan; Chen, Argon; Liu, Cheewee; Lin, A.; Lan, M.; Guo, Ruey-Shan; Chen, Argon; Liu, Cheewee; Lin, A.; Lan, M.

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