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机构 日期 题名 作者
國立中山大學 2000 Concepts for creating ultra deep trenches using deep x-ray lithography Y. Cheng; B.Y. Shew; C.H. Lin; M.K. Chyu
國立中山大學 1999-12-03 Ultra-deep LIGA process Y. Cheng;B.Y. Shew;C.H. Lin;M.K. Chyu

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