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臺大學術典藏	2020-06-11T06:46:02Z	Abbe-PCA-SMO: Microlithography source and mask optimization based on Abbe-PCA	Chang, J.H.-C.;Chen, C.C.-P.;Melvin, L.S.; Chang, J.H.-C.; Chen, C.C.-P.; Melvin, L.S.; CHUNG-PING CHEN
臺大學術典藏	2020-06-11T06:46:02Z	Abbe-PCA-SMO: Microlithography source and mask optimization based on Abbe-PCA	Chang, J.H.-C.;Chen, C.C.-P.;Melvin, L.S.; Chang, J.H.-C.; Chen, C.C.-P.; Melvin, L.S.; CHUNG-PING CHEN

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