臺灣學術機構典藏系統 (Taiwan Academic Institutional Repository, TAIR)

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Institution	Date	Title	Author
國立中山大學	2004	Pattern profile distortion and stress evolution in nanoporous organosilicates after photoresist stripping	P.T. Liu;T.C. Chang;C.W. Chen;T.Y. Tseng
國立中山大學	2004	Memory effect of oxide/SiC:O/Oxide sandwidthed structures	T.C. Chang;S.T. Yan;F.M. Yang;P.T. Liu;S.M. Sze
國立中山大學	2003	Direct Patterning of Low-k Hydrogen Silsesquioxane Using X-ray Exposure Technology	T.C. Chang;T.M. Tsai;P.T. Liu;Y.S. Mor;C.W. Chen;J.T. Sheu;T.Y. Tseng
國立中山大學	2003	A study of parasitic resistance effects in thin-channel polycrystalline silicon TFTs with tungsten-clad source/drain	H.W. Zan;T.C. Chang;S.P. Shih;D.Z. Peng;P.Y. Kuo;T.Y. Huang;C.Y.C. Chang;P.T. Liu
國立中山大學	2003	Moisture-induced material instability of porous organosilicate glass	T.C. Chang;C.W. Chen;P.T. Liu;Y.S. Mor;H.M. Tsai;T.M. Tsai;S.T. Yan;C.H. Tu;T.Y. Tsing;S.M. Sze
國立中山大學	2003	A novel SiGe raised source/drain polycrystalline silicon thin-film transistor with improved on-current and larger breakdown voltage	D.Z. Peng;T.C. Chang;Y.H. Yeh;P.T. Liu;C.Y. Chang
國立中山大學	2003	Structural and electrical characteristics of low-dielectric constant porous hydrogen silsequioxane for Cu metallization	J.H. Wang;T.C. Chang;P.T. Liu;S.L. Lin;L.J. Chen
國立中山大學	2003	Characteristics and stress-induced degradation of laser-activated low-temperature polycrystalline silicon thin-film transistors	D.Z. Peng;T.C. Chang;C.Y. Chang;M.L. Tsai;C.H. Tu;P.T. Liu
國立中山大學	2003	Direct Patterning of low-k hydrogen silsesquioxane using X-ray exposure technology	T.C. Chang;H.M. Tsai;P.T. Liu;Y.S. Mor;C.W. Chen;T.Y. Tsing
國立中山大學	2003	Dielectric characteristics of low-permittivity silicate using electron beam direct patterning for intermetal dielectric applications	P.T. Liu;T.C. Chang;T.M. Tasi;Z.W. Chen;B.C. Chen;S.M. Sze

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