臺灣學術機構典藏系統 (Taiwan Academic Institutional Repository, TAIR)

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机构	日期	题名	作者
國立中山大學	2004	Structrual characteristics and interfacial reactions of low dielectric constant porous polysilazane for Cu metallization	J.H. Wang;P.T. Liu;T.C. Chang;L.J. Chen
國立中山大學	2004	CMP of ultra low-k Methylsilsesquiazane with oxygen plasma treatment for multilevel interconnect applications	T.C. Chang;T.M. Tsai;P.T. Liu;C.W. Chen;S.T. Yan;H. Aoki;T.Y. Tseng
國立中山大學	2004	Method to improve chemical-mechanical-planarization polishing rate of low-k methyl-silsesquiazane for ultralarge scale integraged interconnect application	T.C. Chang;T.M. Tsai;P.T. Liu;Y.C. Chang;J. Aoki;S.M. Sze;T.Y. Tseng
國立中山大學	2004	Quasisuperlattice storage: A concept of multilevel charge stoage	T.C. Chang;S.T. Yan;P.T. Liu;C.W. Chen;H.H. Wu;S.M. Sze
國立中山大學	2004	Cu-penetration induced breakdown mechanism for a-SiCN	C.W. Chen;P.T. Liu;T.C. Chang;J.H. Yang;T.M. Tsai;H.H. Wu;T.Y. Tseng
國立中山大學	2004	Leakage behavior of the quasi-superlattice stack for multilevel charge storage	T.C. Chang;S.T. Yan;P.T. Liu;C.W. Chen;H.H. Wu;S.M. Sze
國立中山大學	2004	Investigation of the electrical properties and reliability of amorphous SiCN	C.W. Chen;T.C. Chang;P.T. Liu;T.M. Tsai;C.H. Huang;J.M. Chen;T.Y. Tseng
國立中山大學	2004	Short-Channel Poly-Si thin film transistors with ultrathin chanel and self-alinged tungsten-clad source/drain	H.W. Zan;T.C. Chang;S.P. Shih;D.Z. Peng;P.Y. Kuo;T.Y. Huang;C.Y.C. Chang;P.T. Liu
國立中山大學	2004	Quasisuperlattice storage: A concept of multilevel charge stoage	T.C. Chang;S.T. Yan;P.T. Liu;C.W. Chen;H.H. Wu;S.M. Sze
國立中山大學	2004	A method of fabricating superior oxide/nitride/oxide gate stack	T.C. Chang;S.T. Yan;P.T. Liu;C.W. Chen;S.H. Lin;S.M. Sze

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