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國立交通大學 2014-12-12T02:13:38Z 以低壓有機金屬化學汽相磊晶法研究化合物半導體選擇性區域成長 詹世雄; Shih-Hsiung Chan; 施敏, 張俊彥; Simon Min Sze, Chun-Yen Chang
中原大學 2000-01 Dry Etching of Platinum Films with TiN Masks in an Ar/O2 Helicon Wave Plasma Ming-Chung Chiang;Fu-Ming Pan;Han-Chung Cheng;Jeng-Shu Liu;Shih-Hsiung Chan;Ta-Chin Wei

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