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機構	日期	題名	作者
國立中山大學	2005	Mobility enhancement of polycrystalline-Si thin-film transistor using nanowire channels by pattern-dependent metal-induced lateral crystallization	Y.C. Wu;T.C. Chang;P.T. Liu;Y.C. Wu;C.W. Chou;C.Y. Chang
中原大學	2004	Effects of SiO2 content and solution pH in raw materials on Ni-Zn ferrite Magnetic properties	K.H.Wu;Y.C.Chang;T. C.Chang;Y.S.Chiu;T.R.Wu
國立中山大學	2004	Silicide Formation of Au Thin Films on (1 0 0) Si during Annealing	J.F. Chang; T.F. Young; Y.L. Yang; H.Y. Ueng; T.C. Chang
國立中山大學	2004	Method to improve chemical-mechanical-planarization polishing rate of low-k methyl-silsesquiazane for ultralarge scale integrated interconnect application	T.C. Chang;T.M. Tsai;P.T. Liu;S.T. Yan;Y.C. Chang;H. Aoki;S.M. Sze;T.Y. Tseng
國立中山大學	2004	Study on the effect of electron beam curing on low-K porous organosilicate glass (OSG) material	T.C. Chang;T.M. Tsai;P.T. Liu;C.W. Chen;T.Y. Tseng
國立中山大學	2004	CMP of Ultra Low-k Material Porous-Polysilazane (PPSZ) for Interconnect Applications	T.C. Chang;T.M. Tsai;P.T. Liu;C.W. Chen;S.T. Yan;H. Aoki;Y.C. Chang;T.Y. Tseng
國立中山大學	2004	CMP of low-k methylsilsesquiazane with oxygen plasma treatment for multilevel interconnect applications	T.C. Chang;T.M. Tsai;P.T. Liu;C.W. Chen;S.T. Yan;H. Aoki;Y.C. Chang;T.Y. Tseng
國立中山大學	2004	CMP of ultra low-k material porous-polysilazane (PPSZ) for interconnect applications	T.C. Chang;T.M. Tsai;P.T. Liu;C.W. Chen;S.T. Yan;H. Aoki;T.Y. Tseng
國立中山大學	2004	A novel distributed charge storage with GeO2 nano-dots	T.C. Chang;S.T. Yan;P.T. Liu;C.H. Hsu;M.T. Tang;S.M. Sze
國立中山大學	2004	Extraction of electrical mechanisms of low-dielectric constant material MSZ for interconnect applications	T.C. Chang;S.T. Yan;P.T. Liu;H. Aoki;S.M. Sze
國立中山大學	2004	Structrual characteristics and interfacial reactions of low dielectric constant porous polysilazane for Cu metallization	J.H. Wang;P.T. Liu;T.C. Chang;L.J. Chen
國立中山大學	2004	CMP of ultra low-k Methylsilsesquiazane with oxygen plasma treatment for multilevel interconnect applications	T.C. Chang;T.M. Tsai;P.T. Liu;C.W. Chen;S.T. Yan;H. Aoki;T.Y. Tseng
國立中山大學	2004	Method to improve chemical-mechanical-planarization polishing rate of low-k methyl-silsesquiazane for ultralarge scale integraged interconnect application	T.C. Chang;T.M. Tsai;P.T. Liu;Y.C. Chang;J. Aoki;S.M. Sze;T.Y. Tseng
國立中山大學	2004	Quasisuperlattice storage: A concept of multilevel charge stoage	T.C. Chang;S.T. Yan;P.T. Liu;C.W. Chen;H.H. Wu;S.M. Sze
國立中山大學	2004	Cu-penetration induced breakdown mechanism for a-SiCN	C.W. Chen;P.T. Liu;T.C. Chang;J.H. Yang;T.M. Tsai;H.H. Wu;T.Y. Tseng
國立中山大學	2004	Leakage behavior of the quasi-superlattice stack for multilevel charge storage	T.C. Chang;S.T. Yan;P.T. Liu;C.W. Chen;H.H. Wu;S.M. Sze
國立中山大學	2004	Investigation of the electrical properties and reliability of amorphous SiCN	C.W. Chen;T.C. Chang;P.T. Liu;T.M. Tsai;C.H. Huang;J.M. Chen;T.Y. Tseng
國立中山大學	2004	Short-Channel Poly-Si thin film transistors with ultrathin chanel and self-alinged tungsten-clad source/drain	H.W. Zan;T.C. Chang;S.P. Shih;D.Z. Peng;P.Y. Kuo;T.Y. Huang;C.Y.C. Chang;P.T. Liu
國立中山大學	2004	Quasisuperlattice storage: A concept of multilevel charge stoage	T.C. Chang;S.T. Yan;P.T. Liu;C.W. Chen;H.H. Wu;S.M. Sze
國立中山大學	2004	A method of fabricating superior oxide/nitride/oxide gate stack	T.C. Chang;S.T. Yan;P.T. Liu;C.W. Chen;S.H. Lin;S.M. Sze
國立中山大學	2004	High performance polycrystalline silicon thin film transistor with multiple nano-wire channels and LDD structure	Y.C. Wu;T.C. Chang;P.T. Liu;H.W. Zan;Y.H. Tai
國立中山大學	2004	Silicide formation of Au thin films on (100) Si during annealing	J.F. Chang;T.R. Young;Y. Yang;H.Y. Ueng;T.C. Chang
國立中山大學	2004	A novel approach for fabricating germanium nanocrystals for nonvolatile memory application	T.C. Chang;S.T. Yan;P.T. Liu;C.W. Chen;S.H. Lin;S.M. Sze
國立中山大學	2004	Study on eching profile of nanoporous silica	C.W. Chen;T.C. Chang;P.T. Liu;T.S. Tsai;H.H. Wu;T.Y. Tseng
國立中山大學	2004	Study on the effect of electron beam curing on low-K porous organosilicate glass (OSG) material	T.C. Chang;T.M. Tsai;P.T. Liu;C.W. Chen;T.Y. Tseng

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