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國立臺灣海洋大學 2010 Very low temperature AlOx ultra thin film deposited on (001) GaAs substrates by ALD using DEZn and N2O Dong Yuan Lyu(呂東原);Tai-Yuan Lin(林泰源);Jyun-Syong Yang(楊峻雄);Jyh-Rong Gong(龔志榮);Ching-Chiun Wang(王慶鈞);Jen-Rong Huang(黃振榮);Muh-Wan Liang(梁沐旺);Ching-Huei Wu(吳慶輝);Chan-Hsing Lo(羅展興)

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