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義守大學 2011-08 Deep-UV Sensors Based on SAW Oscillators Using Low-Temperature-Grown AlN Films on Sapphires Laksana, Chipta P.;Chen, Meei-Ru;Liang, Yen;Tzou, An-Jyeg;Kao, Hui-Ling;Jeng, Erik S.;Chen, Jyh Shin;Chen, Hou-Guang;Jian, Sheng-Rui

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