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臺大學術典藏	2019-10-22T02:34:51Z	Impacts of sensor layouts on the performance of a long-stroke nano-positioning stage	Wang F.-C.;Wang K.-A.;Chen Y.-Y.;Chen H.-J.;Yen J.-Y.Jia-Yush Yen; Wang F.-C.; Wang K.-A.; Chen Y.-Y.; Chen H.-J.; Yen J.-Y.; JIA-YUSH YEN

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