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國立成功大學	2004-09	Effects of substrate bias and nitrogen flow ratio on the resistivity, density, stoichiometry, and crystal structure of reactively sputtered ZrNx thin films	Wang, Shin-Hui; Chang, Ching-Chun; Chen, Jen-Sue
國立成功大學	2004-06-17	氮化鋯薄膜之製備及作為閘極電極之特性研究	王勢輝; Wang, Shin-Hui
國立成功大學	2004-06-17	氮化鋯薄膜之製備及作為閘極電極之特性研究	王勢輝; Wang, Shin-Hui

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