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臺大學術典藏 2019-10-31T07:52:45Z Provably Good Max-Min-m-Neighbor-TSP-Based Subfield Scheduling for Electron-Beam Photomask Fabrication CHIEH-HSIUNG KUAN;Chieh-Hsiung Kuan;Wei-Cheng Rao;IEEE;Fellow;Yao-Wen Chang;Shao-Yun Fang;Zhi-Wen Lin; Zhi-Wen Lin; Shao-Yun Fang; Yao-Wen Chang; Fellow; IEEE; Wei-Cheng Rao; Chieh-Hsiung Kuan; CHIEH-HSIUNG KUAN
臺大學術典藏 2019-10-31T07:52:45Z Provably Good Max-Min-m-Neighbor-TSP-Based Subfield Scheduling for Electron-Beam Photomask Fabrication CHIEH-HSIUNG KUAN;Chieh-Hsiung Kuan;Wei-Cheng Rao;IEEE;Fellow;Yao-Wen Chang;Shao-Yun Fang;Zhi-Wen Lin; Zhi-Wen Lin; Shao-Yun Fang; Yao-Wen Chang; Fellow; IEEE; Wei-Cheng Rao; Chieh-Hsiung Kuan; CHIEH-HSIUNG KUAN

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