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元智大學	Jul-22	Growth of Ultrathin barrier InAlGaN/GaN Heterostructures with Superior Properties Using Sputtered AlN/sapphire Templates and Optimized Group-III Injection Rate by Metalorganic Chemical Vapor Phase Deposition	李清庭; X. X. Zheng; C. Wang; J. H. Huang; J. Y. Huang; D. Ueda; K. Pande; C. F. Dee; E. Y. Chang

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