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机构	日期	题名	作者
臺大學術典藏	2020-01-13T08:21:33Z	Multi-function optical characterization and inspection of MEMS components using stroboscopic coherence scanning interferometry	Tapilouw, A.M.; Chen, L.-C.; Xuan-Loc, N.; Chen, J.-L.; LIANG-CHIA CHEN

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