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机构	日期	题名	作者
臺大學術典藏	2018-09-10T06:02:39Z	Identifications of the PZT Actuated Novel Optical Scanning System	Yea-Chin Yeh; Chun-Hung Liu; Kuen-Yu Tsai; Yu-Chen Kung; Jia-Yush Yen; Jyh-Fa Lee; KUEN-YU TSAI
臺大學術典藏	2018-09-10T06:02:39Z	Feedback control of piezo-based nanopositioning systems for semiconductor manufacturing	Kuen-Yu Tsai; Jia-Yush Yen; Arthur Tay; Jyh-Fa Lee; KUEN-YU TSAI; Yea-Chin Yeh; Chun-Hung Liu

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