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臺大學術典藏	2019-10-22T02:34:53Z	Servo system design of a high-resolution piezo-driven fine stage for step-and-repeat microlithography systems	Tsai Kuen-Yu;Yen Jia-Yushjia-Yush Yen; Tsai Kuen-Yu; Yen Jia-Yush; JIA-YUSH YEN

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