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機構	日期	題名	作者
臺大學術典藏	2012-02	Electron-beam proximity effect model calibration for fabricating scatterometry calibration samples	Chun-Hung Liu; Chih-Yu Chen; Hoi-Tou Ng; Kuen-Yu Tsai; Fu-Ming Wang; Chieh-Hsiung Kuan; Yen-Min Lee; Hsin-Hung Cheng; Jia-Han Li; Alek C. Chen; Yu-Tian Shen; KUEN-YU TSAI; CHIEH-HSIUNG KUAN et al.

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