臺灣學術機構典藏系統 (Taiwan Academic Institutional Repository, TAIR)

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机构	日期	题名	作者
元智大學	Jun-18	Silicon etching of difluoromethane atmospheric pressure plasma jet combined with its spectroscopic analysis	Yu-Ching Sung; Ta-Chin Wei; You-Chia Liu; Chun Huang
元智大學	2017-11-16	Silicon Etching of Difluoromethane Atmospheric Pressure Plasma Jet combined with Its Spectroscopic Analysis	Yu-Ching Sung; Ta-Chin Wei; You-Chia Liu; Chun Huang
元智大學	2016-10-20	The Study of Aspect Ratio of Atmospheric Pressure Plasma Etching and Postproceesing of Crystalline Silicon (ADMETAPlus 2016)	Chun Huang; Wei-Ting Liu; You-Chia Liu
元智大學	2015-03-26	Development of Atmospheric Pressure Plasma Jet for Silicon Etching	Chun Huang; Wei-Ting Liu; You-Chia Liu; Yi-Jan Chang; Chun Li; Li-Yu Wu; Tzu-Tung Chang
元智大學	2015-03-26	Development of Atmospheric Pressure Plasma Jet for Silicon Etching	Chun Huang; Wei-Ting Liu; You-Chia Liu; Yi-Jan Chang; Chun Li; Li-Yu Wu; Tzu-Tung Chang

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