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机构 日期 题名 作者
國立中山大學 2003-07-01 矽晶圓非等向性溼式蝕刻之特性研究 陳柏穎
國立中山大學 2003 超音波振盪於 TMAH 溶液中對異方性矽蝕刻特性之影響 楊啟榮;陳柏穎;鄭兆;邱源成;李榮宗
國立中山大學 2003 TMAH 溶液中界面活性劑對異方性矽蝕刻特性之探討 楊啟榮;陳柏穎;楊証皓;邱源成;李榮宗

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