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機構	日期	題名	作者
國立中山大學	2003-07-01	矽晶圓非等向性溼式蝕刻之特性研究	陳柏穎
國立中山大學	2003	超音波振盪於 TMAH 溶液中對異方性矽蝕刻特性之影響	楊啟榮;陳柏穎;鄭兆;邱源成;李榮宗
國立中山大學	2003	TMAH 溶液中界面活性劑對異方性矽蝕刻特性之探討	楊啟榮;陳柏穎;楊証皓;邱源成;李榮宗

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