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國立臺灣大學	2008	A micrometer scale and low temperature PZT thick film MEMS process utilizing an aerosol deposition method	Wang, Xuan-Yu; Lee, Chi-Yuan; Peng, Cheng-Jien; Chen, Pei-Yen; Chang, Pei-Zen
臺大學術典藏	2008	A micrometer scale and low temperature PZT thick film MEMS process utilizing an aerosol deposition method	Chang, Pei-Zen; Wang, Xuan-Yu; Lee, Chi-Yuan; Peng, Cheng-Jien; Chen, Pei-Yen; Chang, Pei-Zen; Wang, Xuan-Yu; Lee, Chi-Yuan; Peng, Cheng-Jien; Chen, Pei-Yen

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