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機構 日期 題名 作者
國立臺灣科技大學 2008 A Practical Fab Design Procedure for Wafer Fabrication Plants Chen, J. C. ; Dai, R. D. ; Chen, C. W.
國立臺灣科技大學 2003 Layout Improvement for the Facility Design of Semiconductor Fabrication Chen, J. C. ; Peng, G. M. ; Sun, C. J. ; Wang, J. J. ; Chang, P. F. ; Dai, R. D.

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