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教育部委託研究計畫 計畫執行:國立臺灣大學圖書館
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| 國立交通大學 |
2014-12-08T15:27:05Z |
Fabrication of cantilever type microswitches using surface micromachining technology
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Chang, KM; Jou, CF; Luo, JJ; Kuo, LY; Deng, IC; Liang, C; Luhmann, NC |
| 國立交通大學 |
2014-12-08T15:27:04Z |
Suppress copper diffusion through barrier metal-free hydrogen silisequioxane dielectrics by using NH3 plasma treatment
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Chang, KM; Deng, IC; Yeh, SJ; Yeh, TH |
| 國立交通大學 |
2014-12-08T15:16:06Z |
Study of a circularly polarized CPW-fed inductive square slot antenna
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Deng, IC; Lin, RJ; Chang, KM; Chen, JB |
| 國立交通大學 |
2014-12-08T15:02:22Z |
Highly selective etching for polysilicon and etch-induced damage to gate oxide with halogen-bearing electron-cyclotron-resonance plasma
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Chang, KM; Yeh, TH; Deng, IC; Lin, HC |
| 國立交通大學 |
2014-12-08T15:01:50Z |
Nitridation of fine grain chemical vapor deposited tungsten film as diffusion barrier for aluminum metallization
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Chang, KM; Yeh, TH; Deng, IC |
| 國立交通大學 |
2014-12-08T15:01:32Z |
Amorphouslike chemical vapor deposited tungsten diffusion barrier for copper metallization and effects of nitrogen addition
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Chang, KM; Yeh, TH; Deng, IC; Shih, CW |
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