臺灣學術機構典藏系統 (Taiwan Academic Institutional Repository, TAIR)

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機構	日期	題名	作者
臺大學術典藏	2018-09-10T08:46:34Z	Projection Patterning With Exposure Mask	Kuen-Yu Tsai;Miin-Jang Chen;Si-Chen Lee; Kuen-Yu Tsai; Miin-Jang Chen; Si-Chen Lee; KUEN-YU TSAI
臺大學術典藏	2018-09-10T08:46:34Z	Projection Patterning With Exposure Mask	Kuen-Yu Tsai;Miin-Jang Chen;Si-Chen Lee; Kuen-Yu Tsai; Miin-Jang Chen; Si-Chen Lee; KUEN-YU TSAI
臺大學術典藏	2018-09-10T08:46:33Z	Non-delta-chrome optical proximity correction methodology for process models with three-dimensional mask effects	Philip C. W. Ng; Kuen-Yu Tsai; Lawrence S. Melvin III; KUEN-YU TSAI
臺大學術典藏	2018-09-10T08:46:33Z	Non-delta-chrome optical proximity correction methodology for process models with three-dimensional mask effects	Philip C. W. Ng; Kuen-Yu Tsai; Lawrence S. Melvin III; KUEN-YU TSAI
臺大學術典藏	2018-09-10T08:46:33Z	Lithography-patterning-fidelity-aware electron-optical system design optimization	Sheng-Yung Chen; Hoi-Tou Ng; Shiau-Yi Ma; Hsing-Hong Chen; Chun-Hung Liu; Kuen-Yu Tsai; KUEN-YU TSAI
臺大學術典藏	2018-09-10T08:46:33Z	Lithography-patterning-fidelity-aware electron-optical system design optimization	Sheng-Yung Chen; Hoi-Tou Ng; Shiau-Yi Ma; Hsing-Hong Chen; Chun-Hung Liu; Kuen-Yu Tsai; KUEN-YU TSAI
臺大學術典藏	2018-09-10T08:46:33Z	Lithography-patterning-fidelity-aware electron-optical system design optimization	Sheng-Yung Chen; Hoi-Tou Ng; Shiau-Yi Ma; Hsing-Hong Chen; Kuen-Yu Tsai; KUEN-YU TSAI
臺大學術典藏	2018-09-10T08:46:33Z	Lithography-patterning-fidelity-aware electron-optical system design optimization	Sheng-Yung Chen; Hoi-Tou Ng; Shiau-Yi Ma; Hsing-Hong Chen; Kuen-Yu Tsai; KUEN-YU TSAI
臺大學術典藏	2018-09-10T08:46:33Z	Optical metrology of shape-varying nano-patterned gratings by analyzing the scattering signals in their pupil images	Yen-Min Lee; Jia-Han Li; Fu-Min Wang; Hsin-Hung Cheng; Yu-Tian Shen; Kuen-Yu Tsai; Alek C. Chen; KUEN-YU TSAI
臺大學術典藏	2018-09-10T08:46:33Z	Optical metrology of shape-varying nano-patterned gratings by analyzing the scattering signals in their pupil images	Yen-Min Lee; Jia-Han Li; Fu-Min Wang; Hsin-Hung Cheng; Yu-Tian Shen; Kuen-Yu Tsai; Alek C. Chen; KUEN-YU TSAI

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