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機構 日期 題名 作者
國立交通大學 2014-12-08T15:43:50Z One-step cleaning solution to replace the conventional RCA two-step cleaning recipe for pregate oxide cleaning Pan, TM; Lei, TF; Chao, TS; Liaw, MC; Ko, FH; Lu, CP
國立交通大學 2014-12-08T15:43:47Z Focus measurement with a simple pattern design Ku, CY; Lei, TF; Lin, HK
國立交通大學 2014-12-08T15:43:39Z High quality interpoly dielectrics deposited on the nitrided-polysilicon for nonvolatile memory devices Yang, WL; Chao, TS; Cheng, CM; Pan, TM; Lei, TF
國立交通大學 2014-12-08T15:43:37Z The enhancement of nitrogen incorporation in RTN2O annealed TEOS oxide fabricated on disilane-based polysilicon films Lee, JW; Chen, WD; Lei, TF; Lee, CL
國立交通大學 2014-12-08T15:43:37Z Expanding the process window and reducing the optical proximity effect by post-exposure delay Ku, CY; Shieh, JM; Chiou, TB; Lin, HK; Lei, TF
國立交通大學 2014-12-08T15:43:31Z Improvements in both thermal stability of Ni-silicide and electrical reliability of gate oxides using a stacked polysilicon gate structure Lee, JW; Lin, SX; Lei, TF; Lee, CL
國立交通大學 2014-12-08T15:43:30Z Monitoring lithographic focus and tilting performance by off-line overlay measurement tools Ku, CY; Lei, TF; Cheng, DS
國立交通大學 2014-12-08T15:43:27Z Electrical characteristics of thin cerium oxide film on silicon substrate by reactive DC sputtering Pan, TM; Chien, CH; Lei, TF; Chao, TS; Huang, TY
國立交通大學 2014-12-08T15:43:27Z An investigation of scanning capacitance microscopy on iron-contaminated p-type silicon Chang, MN; Chang, TY; Pan, FM; Wu, BW; Lei, TF
國立交通大學 2014-12-08T15:43:19Z Thin tunnel oxide grown on silicon substrate pretreated by CF4 plasma Lee, JW; Lei, TF; Lee, CL

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