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機構	日期	題名	作者
臺大學術典藏	2007	Characterization of the Ultrathin HfO2 and Hf-Silicate Films Grown by Atomic Layer Deposition	Chen, Tze Chiang; Peng, Cheng-Yi; Tseng, Chih-Hung; Liao, Ming-Han; Chen, Mei-Hsin; Wu, Chih-I; Chern, Ming-Yau; Tzeng, Pei-Jer; Liu, Chee Wee; Chen, Tze Chiang; Peng, Cheng-Yi; Tseng, Chih-Hung; Liao, Ming-Han; Chen, Mei-Hsin; Wu, Chih-I; Chern, Ming-Yau; Tzeng, Pei-Jer; Liu, Chee Wee

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