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教育部委託研究計畫 計畫執行:國立臺灣大學圖書館
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| 國立臺灣大學 |
2003 |
Ultra-thin Cr2O3 well-crystallized films for high transmittance APSM in ArF line
|
Lai, F. D.; Huang, C. Y.; Chang, C. M.; Wang, L. A.; Cheng, W. C. |
| 國立臺灣大學 |
2003 |
Low alkaline contamination bottom antireflective coatings for both 193- and 157-nm lithography applications
|
Chen, H. L.; Chuang, Y. F.; Lee, C. C.; Hsieh, C. I.; Ko, F. H.; Wang, L. A. |
| 國立臺灣大學 |
2003 |
A Highly Efficient Polarized Superfluorescent Fiber Source for Fiber-Optic Gyroscope Applications
|
Su, H.C.; Wang, L.A. |
| 國立臺灣大學 |
2003 |
Ultrathin TiO2 amorphous films for high transmittance APSM blanks at 157 and 193 nm wavelength simultaneously
|
Lai, F. D.; Chang, C. M.; Wang, L. A.; Yih, T. S. |
| 國立臺灣大學 |
2003 |
Phase masks working in 157 nm wavelength fabricated by immersion interference photolithography
|
Cheng, W. C.; Wang, L. A. |
| 國立高雄第一科技大學 |
2002.06 |
Design of (ZrO2)x/(Cr2O3)y/(Al2O3)1-x-y superlattices for high transmittance APSM at 193 nm wavelength
|
LAI, F.D.;WANG, L.A. |
| 國立臺灣大學 |
2002-03 |
An insertion loss insensitive and mean wavelength stable polarized superfluorescent fiber source
|
Wang, L.A.; Lee, C.D.; Su, H.C.; Chang, J.F. |
| 國立臺灣大學 |
2002 |
Study of the Synthesis and Characterization of Methacrylate Photoresists
|
Fu, S.C.; Lin, H.W.; Chou, W.Y.; Wang, L.A.; Hsieh, K.H. |
| 國立臺灣大學 |
2002 |
Fabrication and characterization of aluminum oxide/chromium oxide superlattice for attenuated phase-shifting mask working at 193 nm wavelength
|
Lai, F. D.; Wang, L. A. |
| 國立臺灣大學 |
2002 |
Design of (ZrO2)x/(Cr2O3)y/(Al2O3)1?x?y superlattices for high transmittance APSM at 193 nm wavelength
|
Lai, F. D.; Wang, L. A. |
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