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國立臺灣科技大學	2006	電漿處理對嫘縈系活性碳纖布之孔洞特性探討	李正湧;蘇清淵
中華大學	2006	電漿蝕刻SiC 材料與微型模具製作之研究	郭建煌
國立成功大學	2011-01-27	電漿蝕刻及表面處理摻硼鑽石電化學電極之方法	曾永華; 李泉毅; 曾偉良
國立成功大學	2022	電漿蝕刻均勻度惡化之分析、改善與預警系統建立	何青原
國立成功大學	2023	電漿蝕刻均勻度惡化之分析、改善與預警系統建立	何青原
中原大學	2001-05-01	電漿蝕刻室中壓力及蝕刻率在原位置之同時光學監測方法	李世琛
國立高雄第一科技大學	2009-05-14	電漿蝕刻對LED發光效率之影響	程士豪; Cheng Shih-hao
中華大學	2012	電漿蝕刻法在玻璃表面製作微結構之研究	黃麟凱; Huang, Lin-Kai
國立臺灣科技大學	2001	電漿蝕刻製程之物性模式模擬	楊智昇
國立虎尾科技大學	2012	電漿蝕刻製程參數對聚醯亞胺製程之蝕刻設備特性	歐勝雄

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